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氯化氫氣體

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微電子工業對電子級氯化氫的新要求
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微電子工業對電子級氯化氫的新要求

發布時間:2020-12-03 15:43:34 打印
    通常,電子級氯化氫是指純度超過99.999%的高純度氯化氫氣體。除了要求氯化氫氣體的純度以外,還要求氯化氫的性能、質量和種類。
    隨著微電子工業向大尺寸、高集成度、高均勻性和高完整性方向迅速發展,對廣泛用于單晶硅氣相研磨和外延基體腐蝕的電子級氯化氫提出了新的要求。氯化氫中有機雜質(如THC、H2O、金屬離子)的含量越純度超過99.999%越低越好。
    電子級氯化氫主要用于外延生長前硅和砷化鎵的高溫氣相蝕刻,去除鈉離子。另外,高純度氯化氫還用于金屬表面的化學處理、激光氣體混合物、薄膜生產、碳纖維表面處理。過去,我國許多國家從美國、日本等國家進口電子級氯化氫,近年來我國電子工業所需化學氣體的研究和開發在技術上取得了很多突破和發展。

    山東言赫不僅生產電子級氯化氫,還生產硫化氫、化學級氯化氫、氯化氫等特種氣體。言赫化工多年來一直專注于氯化氫行業,是專業可靠的氯化氫廠家。

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